Imec demonstriert erstmals die Herstellung von Festkörper-Nanoporen im Wafer-Maßstab mittels EUV-Lithografie
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Imec demonstriert erstmals die Herstellung von Festkörper-Nanoporen im
Wafer-Maßstab mittels EUV-Lithografie
09.12.2025 / 17:20 CET/CEST
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Durchbruch ermöglicht skalierbare, hochpräzise Biosensorik-Anwendungen in
den Bereichen Biowissenschaften und Gesundheitswesen
LEUVEN, Belgien, 9. Dezember 2025 /PRNewswire/ --
imec
* Imec hat erstmals erfolgreich die Herstellung von Festkörper-Nanoporen
im Wafer-Maßstab unter Verwendung der EUV-Lithografie auf 300-mm-Wafern
realisiert. Diese Innovation verwandelt die Nanoporen-Technologie von
einem Konzept im Labormaßstab in eine skalierbare Plattform für
Biosensorik, Genomik und Proteomik.
* Nanoporen gelten als bahnbrechende Innovation für die Genomik und
Proteomik, doch aufgrund von Variabilitäts- und Integrationsproblemen
wurden Festkörper-Nanoporen bisher nie in Serie hergestellt. Der
Durchbruch von Imec ebnet den Weg für CMOS-kompatible Biosensor-Arrays
mit hohem Durchsatz, die die personalisierte Medizin, die
Schnelldiagnostik und die molekulare Datenspeicherung beschleunigen
könnten.
* Wafer-Skala-Fertigung unter Verwendung von EUV-Lithografie auf
300-mm-Wafern von Nanoporen mit einer Größe von nur ~10 nm und hoher
Gleichmäßigkeit über den gesamten Wafer. Der Herstellungsprozess ist
vielversprechend für die Erzielung von Porengrößen unter 5 nm mit
weiteren Verbesserungen der Prozessintegrationstechniken. Die
Charakterisierung der elektrischen und biomolekularen Translokation
ergab ein hohes Signal-Rausch-Verhältnis von 6,2.
* "Imec ist einzigartig positioniert, um diesen Sprung zu schaffen. Wir
können die EUV-Lithografie, die traditionell für Speicher und Logik
reserviert ist, auf die Biowissenschaften anwenden. Durch die Nutzung
unserer Lithografie-Infrastruktur haben wir gezeigt, dass
Festkörper-Nanoporen in der für die Molekülsensorik erforderlichen
Präzision in großem Maßstab hergestellt werden können", sagte Ashesh Ray
Chaudhuri, Erstautor und F&E-Projektmanager bei imec. "Dies öffnet die
Tür zu Biosensor-Arrays mit hohem Durchsatz für das Gesundheitswesen und
darüber hinaus."
Informationen zu imec
Imec ist ein weltweit führendes Forschungs- und Innovationszentrum für
moderne Halbleitertechnologien. Mit seiner hochmodernen F&E-Infrastruktur
und dem Fachwissen von über 6.500 Mitarbeitern treibt imec Innovationen in
den Bereichen Halbleiter- und Systemskalierung, künstliche Intelligenz,
Siliziumphotonik, Konnektivität und Sensorik voran.
Die fortschrittliche Forschung von Imec ermöglicht Durchbrüche in einer
Vielzahl von Branchen, darunter Computer, Gesundheit, Automobil, Energie,
Infotainment, Industrie, Agrar- und Lebensmittel sowie Sicherheit. Über
IC-Link begleitet imec Unternehmen bei jedem Schritt der Chip-Entwicklung -
vom ersten Konzept bis zur Serienfertigung - und liefert maßgeschneiderte
Lösungen, die auf die anspruchsvollsten Design- und Produktionsanforderungen
zugeschnitten sind.
Imec arbeitet mit weltweit führenden Unternehmen entlang der gesamten
Halbleiter-Wertschöpfungskette sowie mit Technologieunternehmen, Start-ups,
Hochschulen und Forschungseinrichtungen in Flandern und weltweit zusammen.
Imec hat seinen Hauptsitz in Leuven, Belgien, und verfügt über
Forschungseinrichtungen in Belgien, Europa und den USA sowie Vertretungen
auf drei Kontinenten. Im Jahr 2024 verzeichnete imec einen Umsatz von 1,034
Milliarden Euro. Weitere Informationen finden Sie unter www.imec-int.com
Vollständige Pressemitteilung:
https://www.imec-int.com/en/press/imec-demonstrates-first-wafer-scale-fabrication-solid-state-nanopores-using-euv-lithography
Cision View original content:
https://www.prnewswire.com/news-releases/imec-demonstriert-erstmals-die-herstellung-von-festkorper-nanoporen-im-wafer-maWstab-mittels-euv-lithografie-302636844.html
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